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氣體質量流量控制器在配氣儀、動態校準儀中的應用

時間:2025-04-07      點擊次數:513

氣體質量流量控制器是配氣儀中的核心部件,可提供精確、穩定的氣體流量控制,讓氣體混合、稀釋更便捷。

易度MC系列質量流量控制器(新款EC系列)采用層流壓差式原理,具有高可靠、高穩定、高精度和高重復性的優勢,同時在抗過載能力和抗污染能力上表現良好,助力配氣儀廠商實現更精準的氣體濃度混合配比。

 

應用要求:

配氣儀的氣體配比通常為100:1等,常見的有兩路甚至更多,一般兩路為一路標氣,一路稀釋氣體。要實現精準配氣,需要流量控制器在各流量點控制氣體準確度高,重復性好,同時對壓力波動不敏感。


主要問題:

1、控制穩定:配氣儀受前端壓力波動影響大,影響流量穩定性,要求流量控制器具有高穩定性,減少壓力波動影響;

2、無漏氣:要求流量控制器內置的比例調節閥流量為零時,要處于常閉狀態,閥門不漏氣,無流量;

3、抗污染能力:配氣儀介質用到腐蝕性氣體,造成流量控制器流道易堵塞,堵塞與流道管徑的粗細直接相關;

4、抗過載能力:配氣儀控制氣體從低流量點切換到高流量點時,受到瞬間大流量沖擊,抗過載能力弱會直接影響流量控制器的使用壽命。

 

解決方案:

1、高穩定性:易度流量控制器內置高精度壓力、溫度傳感器,可進行溫度、壓力的實時補償,700ms的快速響應時間,快速糾正、保持氣體控制的流速恒定,提供穩定的氣體流量控制;

2、無漏氣:易度流量控制器內置的比例調節閥系自主研發,結構緊湊,密封性好,不漏氣,無流量;

3、抗污染能力強:易度流量控制器氣體流道為單通道設計,流道管徑相對較粗,不易受到氣體的污染,造成堵塞;

4、抗過載能力高:易度流量控制器內置的壓差傳感器,可承受50倍及以上的過載流量,抗過載能力強,解決配氣儀低流量段瞬間過載問題。


多組分混合標準氣體是環保行業實現監測設備多點標定的重要工具,以質量流量控制器為配氣部件的動態校準儀(或動態氣體稀釋裝置等),利用高濃度標氣和零氣,通過對各氣路氣體流量的精確控制,實現多濃度點氣體的連續、穩定配制,并以低成本、智能檢測、自動配氣、不受使用環境溫度和壓力影響等優勢被廣泛應用。

動態校準儀.png


質量流量控制器在動態配氣儀中起著重要作用。穩定、高重復的標氣和零氣精準流量控制,可提升動態校準儀高精度、連續、穩定輸出濃度。

客戶應用背景:作為動態校準儀的研發生產商,對流量控制器的現場表現有多方面的實際需求。氣體流量控制器的重復性和可靠性、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題,最終會對客戶造成不同程度的困擾。提高動態校準儀的精度和穩定性,減少最終用戶的長期使用和維護成本,成為發展和技術進步的方向。

關鍵關注點:

動態校準儀簡化原理框圖(自制圖片,不代表真實原理結構)

標氣零氣.png


? 高重復性的配氣

? 對溫度和壓力漂移,環境適應性好

? 對前端壓力波動不敏感

? 寬量程精度保持能力(例如20%~100%或10%~100%量程范圍內達到±1%S.P.)

? 高可靠,長期精度不漂移,控制穩定性好

? 要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力

解決方案:

為提高動態校準儀連續穩定的輸出濃度,易度提供了MCF100系列層流壓差式質量流量控制器作為標準配氣元件,選用閥門后置型產品,可監測前端氣體壓力,并選取了幾種不同的量程,典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質量流量控制器,精度為±1.0% S.P.。

? 內置的比例調節閥和流量傳感器具有高分辨率和穩定性

? 內置的絕壓和溫度傳感器,具有-20~50℃,0~1MPa的寬環境適應性

? 層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度,對前端壓力不敏感

? 層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優勢

? 層流壓差式原理,高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石

? 自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感,有較好的抗污染能力

易度流量控制器采用層流壓差式原理,在氣體流量控制的精度和重復性上有明顯的優勢,100:1的量程比(可定制更高量程比),在小流量段也能實現毫秒級快速控制。比例調節閥在設計中充分考慮密封性和內漏問題,將客戶的關鍵關注點解決,幫助客戶將動態配氣儀提升到更高品質和更優性能。


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